Закономерности формирования структуры покрытий CrN, полученных вакуумно-дуговым испарением в атмосфере азота

Автор(ы) О.В. Соболь1 , А.А. Андреев2 , В.А. Столбовой2 , Н.В. Пинчук1 , А.А. Мейлехов1
Принадлежность

1 НТУ «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

2 ННЦ «Харьковский физико-технический институт», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 1
Даты Получено 04.11.2014, в отредактированной форме – 27.02.2015, опубликовано online – 25.03.2015
Ссылка О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.А. Столбовой, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01026 (2015)
DOI
PACS Number(s) 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.Rx
Ключевые слова Вакуумно-дуговой метод, Давление, CrN (7) , Текстура (10) , Субструктура (7) , Интенсивность, Размер кристаллитов.
Аннотация Рассмотрены вопросы структурной инженерии покрытий системы Cr-N, полученных вакуумно-дуговым испарением катода Cr в азотной атмосфере. В качестве изменяемых физико-технологических параметров использовались: давление азотной атмосферы (3,5…48)×10 – 4 Торр и отрицательный потенциал смещения, подаваемый на подложку в постоянном (Ub = – 120 В) и импульсном (Uip = – 1200 В) режимах. Увеличение давления без импульсного воздействия позволяет переходить от Cr + Cr2N фаз к текстурированным кристаллитам CrN фазы с осью [111]. Переход от металлической фазы к нитридной сопровождается уменьшением среднего размера кристаллитов. Дополнительная подача импульсного потенциала позволяет интенсифицировать процесс образования нитридов и стимулирует при высоких давлениях формирование радиационно-стойкой тестуры с осью [110].

Список литературы