Диагностика реконструкции поверхности золота методами многоугловой эллипсометрии

Автор(ы) А.А. Голобородько , А.В. Крылов, Л.И. Робур
Принадлежность

Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 64/13, 01601 Киев, Украина

Е-mail
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 1
Даты Получено 29.10.2014, опубликовано online – 25.03.2015
Ссылка А.А. Голобородько, А.В. Крылов, Л.И. Робур, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01025 (2015)
DOI
PACS Number(s) 78.68. + m, 68.55. – a, 68.35.B –
Ключевые слова Анизотропная среда, Матрица Мюллера, Коэффициент отражения.
Аннотация В работе рассматриваются изменения структуры и оптических свойств пленок золота. Экспериментально показано, что изменения структуры поверхности достоверно фиксируются методами многоугловой Мюллер-поляриметрии. Проанализировано влияние поверхности пленки золота на параметры модели анизотропной среды. Показано, что для достоверной классификации пленок достаточно проводить измерения при угле, при котором разница в параметрах анизотропии максимальна.

Список литературы

English version of article