Структурные, механические и оптические свойства плазмохимических Si-C-N пленок

Автор(ы) А.А. Козак , В.И. Иващенко , А.К. Порада , Л.А. Иващенко , Т.В. Томила
Принадлежность

Институт проблем материаловедения, НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Е-mail
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 4
Даты Получено 15.09.2014; опубликовано online – 29.11.2014
Ссылка А.А. Козак, В.И. Иващенко, А.К. Порада, и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04047 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.15.Gh, 73.61.Jc, 62.20.Qp
Ключевые слова PECVD (6) , Гексаметилдісилазан (3) , Si-C-N пленки, FTIR (22) , Наноиндентирование.
Аннотация Исследовано влияние температуры подложкодержателя в интервале температур (40-400 °С) на свойства Si-C-N пленок, осажденных плазмохимическим методом из гексаметилдисилазана. Проведенно исследование структуры, картины химических связей, морфологии поверхности, механических свойств и энергетической щели полученных пленок используя рентгеновскую дифракцию, инфракрасную спектроскопию, рентгеновскую фотоэлектронную спектроскопию, атомно-силовую микроскопию, наноиндентирование и опотеческим поглощением. Установлено, что все пленки являются рентгеноаморфными и имеют низкую шероховатость поверхности. С повышением температуры подложкодержателя до 400 °C происходит интенсивная эффузия водорода с пленок, что способствует уменьшению шероховатости, а также увеличению твердости и модуля упругости более чем в два раза.

Список литературы