Получение и некоторые особенности окисления наносистем Zn

Автор(ы) В.М. Латышев, А.С. Корнющенко , В.И. Перекрестов
Принадлежность

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail latyshev.mail@ya.ru
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 4
Даты Получено 12.02.2013, опубликовано online – 29.11.2014
Ссылка В.М. Латышев, А.С. Корнющенко, В.И. Перекрестов, Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04023 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.15.Cd, 81.05.Bx, 81.05.Dz
Ключевые слова Нанонити, Наносистемы, Цинк (27) , Оксид цинка, Окисление, Магнетронное распыление, Пересыщение, Zn (100) , ZnO (64) .
Аннотация Изучены закономерности формирования наносистем цинка посредством конденсации слабопересыщенных паров в высокочистой инертной среде при варьировании таких технологических параметров, как мощность разряда магнетронного распылителя и давление рабочего газа (Ar). При помощи рентгенофазового анализа и РЭМ-исследований установлено, что наиболее тонкие и взаимосвязанные нанонити цинка формируются при давлении рабочего газа 12 Па и мощности разряда магнетронного распылителя 30 Вт. Показано, что процессы окисления наносистем цинка с максимально возможным сохранением морфологии исходных структур возможны при использовании в качестве окислительной среды смеси газов CO2 и O2.

Список литературы

English version of article