Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий

Автор(ы) А.Д. Погребняк1 , В.Н. Борисюк1, А.А. Багдасарян1 , О.В. Максакова2, Е.В. Смирнова1
Принадлежность

1 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

2 Полтавский национальный педагогический университет, ул. Остроградского, 2, 36000 Полтава, Украина

Е-mail artemsumdu@ukr.net
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 4
Даты Получено 15.09.2014, опубликовано online – 29.11.2014
Ссылка А.Д. Погребняк, В.Н. Борисюк, А.А. Багдасарян, и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04018 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.05.Je, 05.45.Df, 81.70.Jb
Ключевые слова Нитридные покрытия, Морфология поверхности, Мультифрактальный анализ.
Аннотация Проведено качественное исследование морфологии (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий в зависимости от потенциала смещения подложки. Для количественного анализа изменения микроскопических неоднородностей применялся двумерный мультифрактальный флуктуационный анализ. Расчет статистических параметров (обобщенный показатель Херста и мультифрактальный спектр) указывает на соответствие теоретических расчетов и экспериментальных исследований, а именно сглаживание поверхности покрытия с увеличением энергии ионов.

Список литературы

English version of article