Изучение элементного и структурно-фазового состава многослойных наноструктурных покрытий TiN/MoN, их физико-механические свойства

Автор(ы) Б.А. Постольный1, П. Конарский1,2, Ф.Ф. Комаров3, О.В ,  Соболь4 , Е.В. Кириченко1, Д.С. Шевчук1
Принадлежность

2 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

2 Теле-радио исследовательский институт, ул. Ратушова, 11, 03-450 Варшава, Польша

3 Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220001 Минск, Республика Беларусь

4 НТУ "Харьковский Политехнический Институт", ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

Е-mail b.postolnyi@gmail.com
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 4
Даты Получено 01.09.2014, опубликовано online – 29.11.2014
Ссылка Б.А. Постольный, П. Конарский, Ф.Ф. Комаров, и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04016 (2014)
DOI
PACS Number(s) 61.46. – w, 62.20. – x, 62.25. – g
Ключевые слова Нитриды, Наноструктурные покрытия, Многослойный, Износостойкость, Твёрдость, Модуль упругости, Индекс пластичности.
Аннотация В статье представлены результаты исследования многослойных покрытий TiN/MoN. Покрытия были получены с использованием вакуумно-дугового нанесения. Толщина периода наноразмерных слоёв в покрытиях составляла λ = 8, 25, 50 и 100 нм. Общая толщина покрытий составляла до 8.4 мкм. Образцы изучались с помощью РЭМ, ПЭМ, ЭДС, РОР, РСА, МСВИ и наноиндентирования. Фактические значения толщин образцов оказались несколько бо́льшими ожидаемых (в большинстве случаев примерно на 25 %). Было обнаружено формирование двухфазной системы: стехиометрический TiN (ГЦК) и кубический γ-Mo2N (ГЦК). Максимальные значения твёрдости и модуля упругости были получены для покрытия с λ = 8 нм: H = 47 ГПа, E = 470 ГПа. Были рассчитаны индекс пластичности и его зависимость от периода слоёв (λ). Наиболее пластичным покрытием оказался образец с H/E = 0.1.

Список литературы