Влияние термического фактора на фазово-структурные и субструктурные состояния ионно-плазменных покрытий квазибинарной системы TiC-WC

Автор(ы) О.В. Соболь1 , О.А. Шовкопляс2
Принадлежность

1 Национальный технический университет “ХПИ”, ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

2 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail sana@mss.sumdu.edu.ua
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 3
Даты Получено 14.05.2014, опубликовано online – 15.07.2014
Ссылка О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс, Ж. Нано- электрон. физ. 6 № 3, 03071 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.07.Bc, 81.15.Cd, 61.05.cp, 64.60.My, 64.70.Nd, 68.55.jm, 61.50.Ks
Ключевые слова Ионно-плазменные покрытия, Квазибинарная система TiC-WC, Рентгеноструктурные исследования, Фазовый состав, Текстура (10) , Субструктура (7) , Термический фактор, Теплота образования.
Аннотация

Проведены исследования влияния температуры осаждения ионно-плазменных покрытий (магнетронная схема) квазибинарной системы TiC-WC разного состава. Показано существенное расширение возможных структурных и субструктурных состояний при неравновесных условиях получения материала из ионно-плазменных потоков. Состав изменяется от однофазного (Ti, W)C к двухфазному (Ti, W)C и α-W2C. Структура – от нетекстурированной к текстуре с осями [111], [100] или [110]. Тип текстуры зависит от температуры осаждения и состава. При однофазном состоянии на субструктурном уровне повышение температуры подложки приводит к увеличению размеров кристаллитов и уменьшению микродеформации. Образование второй фазы приводит к обратным эффектам – повышению дисперсности покрытия и увеличению микродеформации.

Список литературы