Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films“MVU TM – Magna 3M”

Автор(ы) V.V. Odinokov, G.Ya. Pavlov, V.V. Panin, V.P. Raschinsky, A.N. Shpakov, A.V. Shubnikov
Принадлежность

JSC “Research Institute of Precision Machine Manufacturing” (JSC NIITM), 10, Panfilovsky Pr., 124460 Zelenograd, Moscow, Russia

Е-mail
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 3
Даты Получено 19.05.2014, опубликовано online – 15.07.2014
Ссылка V.V. Odinokov, G.Ya. Pavlov, V.V. Panin, et al., J. Nano- Electron. Phys. 6 No 3, 03015 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.15.Cd, 52.77.Dq, 52.50. – b
Ключевые слова Vacuum system, Magnetron sputtering (14) , Thin film deposition, Multilayer metallic coatings.
Аннотация A new small-scale vacuum system “MVU TM-Magna 3M” developed at JSC “Research Institute of Precision Machine Manufacturing” is described. Its assembly and working conditions are considered. This system was used for magnetron sputtering multilayer metallic films.

Список литературы