Структурные свойства и элементный состав имплантированных Au+ пленок ZnO:Al, по-лученных золь-гель методом

Автор(ы) A.Д. Погребняк1, Т.A. Бересток1, 2 , А.С. Опанасюк1 , Y. Takeda3, K. Oyoshi3, Ф.Ф. Комаров4, J. Kassi1
Принадлежность

1 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

2 Catalonia Institute for Energy Research, Jardins de les Dones de Negre St. 1, Sant Adria del Besos, 08930 Barcelona, Spain

3 National Institute for Materials Science, Ibaraki St. 305-0047 Tsukuba, Japan

4 Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030 Минск, Беларусь

Е-mail alexp@i.ua, taisia.berestok@ukr.net, opanasyuk_sumdu@ukr.net
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 2
Даты Получено 30.01.2014, в отредактированной форме – 06.05.2014, опубликовано online – 20.06.2014
Ссылка A.Д. Погребняк, Т.A. Бересток, А.С. Опанасюк и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 № 2, 02003 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.05.Dz, 81.20.Fw
Ключевые слова ZnO:Al, имплантация Au+, золь-гель метод (2) , RBS, Рамановская спектроскопия.
Аннотация Методами RBS , рентгеноструктурного анализа и рамановского рассеяния были исследованы легированные и нелегированные алюминием пленки ZnO, полученные с помощью золь - гель метода на стеклянных подложках с последующим имплантированием ионами Au+. Рентгенодифрактометрический анализ показал, что образцы имеют гексагональную структуру с постоянными решетки a  0.3245-0.3248 нм, c  0.5203-0.5204 нм, c / a  1.602-1.603 и текстурой роста [101]. Средний размер ОКР в образцах составляет L(100)  13.3-13.6 нм , L(002)  (11.3-12.6) нм , L(101)  12.0-12.2 нм. Установлено, что размер ОКР, период решетки и качество текстуры полученных образцов не зависят от имплантирования пленок ZnO ионами Au+. По данным рентгеноструктурного анализа показано, что ионы золота в пленках находятся в основном в виде фазы AuZn3.

Список литературы