Анализ элементного состава и профилей распределения нитридного наноструктурного покрытия на основе TiHfVNbZr высокоэнтропийного сплава

Автор(ы) А.А. Багдасарян1 , Е. Смирнова1, П. Конарски2, M. Miśnik2, A. Zawada3
Принадлежность

1 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

2 Теле и радиотехнический институт, ул. Ратушова 11, Варшава, Польша

3 Гданьский политехнический университет, ул. Нарутовича 11-12, Гданьск, Польша

Е-mail artemsumdu@ukr.net
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 2
Даты Получено 26.05.2014, опубликовано online – 20.06.2014
Ссылка А.А. Багдасарян, Е. Смирнова, П. Конарски, и др., Ж. Нано- электрон. физ. 6 № 2, 02028 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.05.Je, 81.70.Jb
Ключевые слова Высокоэнтропийный сплав, Нитридное покрытие, Профили распределения, Элементный состав, Ионно-лучевые методы.
Аннотация Изучены элементно-структурные особенности нитридного наноструктурного покрытия, полученного вакуумно-дуговым испарением с высокоэнтропийного катода TiHfVNbZr. Использование взаимодополняющих методик элементного анализа (RBS, SIMS и GDMS) позволило провести комплексный анализ элементного состава, а именно определить химический состав приповерхностного слоя, установить характерные особенности распределения элементов по глубине, а также выявить неконтролируемые примеси.

Список литературы

English version of article