Влияние термического и радиационного воздействий на фазовый состав, структуру и напряженно-деформированное состояние покрытий системы Ti-W-B, осажденных из ионно-атомных потоков

Автор(ы) О.А. Шовкопляс1 , О.В. Соболь2
Принадлежность

1 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

2 Национальный технический университет “ХПИ”, ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина

Е-mail sana@mss.sumdu.edu.ua
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 2
Даты Получено 10.04.2014, в отредактированной форме – 05.06.2014, опубликовано online – 20.06.2014
Ссылка О.А. Шовкопляс, О.В. Соболь, Ж. нано- электрон. физ. 6 № 2, 02024 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.07.Bc, 52.77.Dq, 61.05.cp, 64.60.My, 61.82.Rx
Ключевые слова Ионно-плазменные покрытия, Облучение, Рентгеноструктурные исследования, Отжиг, Разделение сложных профилей.
Аннотация Определены закономерности формирования ионно-плазменных покрытий системы Ti‑W‑B и влияние постконденсационной обработки на их фазовый состав, структуру, субструктуру и напряженное состояние. Показано, что при малом содержании Ti‑составляющей (до 2 ат.%) формируется двухфазное состояние из β‑WB- и (Ti, W)B2‑фаз. Отжиг при температуре 1270 К приводит к росту зерен преимущественно β‑WB‑фазы. При содержании Ti более 5 ат.% формируется однофазное (Ti, W)B2‑состояние покрытия. Структура и субструктурные характеристики таких покрытий стабильны при отжигах и облучении протонами с энергией 200 кэВ до дозы 6,5×10 17 см – 2. Влияние терморадиационного воздействия сказывается на изменении напряженно-деформированного состояния (релаксация деформации сжатия). Наблюдаемые изменения объяснены исходя из условий минимизации свободной энергии системы.

Список литературы