Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова

Автор(ы) Г.С. Хрипунов , А.В. Пирогов, В.А. Новиков, Р.В. Зайцев , Л.В. Зайцева , А.Л. Хрипунова
Принадлежность

Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 г. Харьков, Украина

Е-mail
Выпуск Том 6, Год 2014, Номер 2
Даты Получено 13.03.2014, в отредактированной форме – 19.05.2014, опубликовано online – 20.06.2014
Ссылка Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 No 2, 02016 (2014)
DOI
PACS Number(s) 07.07.Df, 68.37. – d
Ключевые слова Газочувствительный датчик, Токопроводящий контакт, Диоксид олова.
Аннотация Для снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, были проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al / SnO2. Выявлено, что длительная работа гетеросистем при температурах 400 °С приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. В работе рассмотрены физические механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового датчика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих контактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структуре.

Список литературы

English version of article