Использование трансформаторного плазмотрона для синтеза нанопорошка кремния

Автор(ы) И.Ю. Тищенко1, П.А. Кузема2
Принадлежность

1 Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 64, 01601 Киев, Украина

2 Институт химии поверхности им. Чуйко, ул. Генерала Наумова, 17, 03164 Киев, Украина

Е-mail ihor.t@i.ua
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 4
Даты Получено 17.09.2013, опубликовано online – 31.01.2014
Ссылка И.Ю. Тищенко, П.А. Кузема, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 4, 04074 (2013)
DOI
PACS Number(s) 07.20. – n, 78.40.Fy, 81.07.Wx, 52.50.Sw
Ключевые слова Трансформаторный плазмотрон, Нанопорошок кремния, Спектр ИК диффузионного отражения.
Аннотация В работе описывается процесс синтеза наноразмерного кремния. Приведены результаты термодинамического расчета процессов, имеющих место при предложенных процессах. Описывается суть и методика проведения экспериментов и результаты анализа полученного продукта. Итоговый продукт – порошок, содержащий частицы наноразмерного кремния. Цель данной работы исследовать эффективность использования трансформаторной плазмотронной системы для синтеза нанопрошков.

Список литературы