Разработка ВЧ ионных источников для ускорителей сфокусированных ионных пучков

Автор(ы) В.И. Возный , В.И. Мирошниченко , С.Н. Мордик, Д.П. Шульга , В.Е. Сторижко , В.В. Токмань
Принадлежность

Институт прикладной физики, Национальная академия наук Украины, ул. Петропавловская, 58, 40000 Сумы, Украина

Е-mail vozny@ipflab.sumy.ua
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 4
Даты Получено 26.06.2013, опубликовано online 31.01.2014
Ссылка В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, С.Н. Мордик, и др., Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 4, 04060 (2013)
DOI
PACS Number(s) 41.75.Ak, 52.50.Qt, 52.80.Pi
Ключевые слова ВЧ источник ионов, Плазма (11) , Индуктивный, Геликонный, Мультикасповый, Распылительный.
Аннотация Представлены результаты исследований ионных источников, разработанных в ИПФ НАН Украины, для получения высокояркостных ионных пучков с малым энергетическим разбросом. Проведено исследование ряда ионных ВЧ-источников, работающих на частоте 27,12 МГц: индуктивного ВЧ-источника, геликонного источника, мультикаспового ВЧ-источника и распылительного ВЧ-источника ионов металлов. Для расчета плазменных параметров ВЧ-источников рассматривалась глобальная и трансформаторная модели разряда. Проведены измерения энергетического разброса, массового состава и плотности тока некоторых источников в широком диапазоне ВЧ-мощности, вытягивающего напряжения и давления рабочего газа.

Список литературы