О некоторых усовершенствованиях ионного микрозондового анализатора

Автор(ы) А.С. Кузема1 , П.А. Кузема2
Принадлежность

1 Сумский национальный аграрный университет, ул. Кирова, 160, 40021 Сумы, Украина

2 Институт химии поверхности им. А.А. Чуйко НАН Украины, ул. Генерала Наумова, 17, 03164 Киев, Украина

Е-mail nikonorov@ukr.net
Выпуск Том 5, Год 2013, Номер 3
Даты Получено 15.04.2013, в отредактированной форме – 12.05.2013, опубликовано online 17.10.2013
Ссылка А.С. Кузема, П.А. Кузема, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 3, 03045 (2013)
DOI
PACS Number(s) 07.75. + h
Ключевые слова Ионный зонд, Магнитная призма, Фокусировка ионов, Энергоанализатор, Масс-анализатор, Электростатическая линза, Разрешающая способность.
Аннотация Рассмотрены ионно-оптические свойства и характеристики ионного микрозондового анализатора, в котором сепарацию первичного пучка по массам осуществляет секторная магнитная призма, а в системе анализа вторичных ионов в качестве энергоанализатора использован сферический конденсатор, формирующий параллельный ионный пучок на входе в масс-анализатор. Это позволило улучшить параметры прибора и уменьшить его габариты.

Список литературы

English version of article