Рост поверхностных микро- и наноструктур в процессе профилирования по глубине кристаллов PbTe плазмой Ar

Автор(ы) Д.М. Заячук1, В.Е. Слынько2, А. Чик3
Принадлежность

1 Национальный университет “Львовская политехника”, ул. С. Бандеры, 12, 79013 Львов, Украина

2 Черновицкое отделение Института Проблем материаловедения НАНУ, ул. И. Вильде, 5, 58001 Черновцы, Украина

3 Институт Ядерных Исследований Академии Наук Венгрии (ATOMKI), H-4026 Дебрецен, Bem ter 18/c, Венгрия

Е-mail zayachuk@polynet.lviv.ua
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 5
Даты Получено 18.07.2017, опубликовано online – 16.10.2017
Ссылка Д.М. Заячук, В.Е. Слынько, А. Чик, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 5, 05034 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(5).05034
PACS Number(s) 81.70.Jb, 68.55.ag, 61.05. – a
Ключевые слова Вторичная нейтральная масс-спектрометрия, Профилирование по глубине, PbTe (3) , Распыление, Переосаждение.
Аннотация Представлены особенности профилирования по глубине кристаллов PbTe плазмой Ar энергии 350 эВ методом вторичной нейтральной масс-спектрометрии, порождаемые условиями роста кристаллов. Исследованы кристаллы, выращенные с паровой фазы и с расплава методом Бриджмена. Было проведено распыление различных поверхностей: поверхности естественной огранки, соответствующей плоскости высокой симметрии (100), естественных боковых поверхностей кристаллических слитков и поверхностей, обработанных механически во время разрезания кристаллов. На распыленных поверхностях наблюдали зарождение, рост и повторное распыление массивов микро- и наноскопических поверхностных структур, переосаждаемых с распыленных атомов Pb и Te. Установлено, что ростовые условия формирования поверхностей кристаллов PbTe очень сильно влияют на процессы зарождения и роста на них поверхностных микро- и наноструктур в условиях непрерывного бомбардирования поверхности ионами Ar во время профилирования кристаллов по глубине. Показано, что это не препятствует надлежащей оценке состава исследуемых объектов путем анализа состава распыленной фазы, если распыление проводить не менее 5-10 минут.

Список литературы