Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди

Автор(ы) М.А. Глущенко , В.В. Белозеров, О.В. Соболь , В.В. Субботина, Г.И. Зеленская , А.И. Зубков
Принадлежность

Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичева, 2, 61002 Харьков, Украина

Е-mail maglushchenko@gmail.com
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 2
Даты Получено 07.02.2017, в отредактированной форме – 25.04.2017, опубликовано online – 28.04.2017
Ссылка М.А. Глущенко , В.В. Белозеров и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 № 2, 02015 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(2).02015
PACS Number(s) 64.75.St, 68.37.Lp, 81.07.Bc, 81.15.Ef
Ключевые слова Текстура (10) , Медь, Cu(Ta), Вакуумная конденсация, Структура (147) .
Аннотация Изучена структура вакуумных конденсатов Cu(Ta) толщиной до 50 мкм отделенных от неориентирующих подложек. Обнаружено, что конденсаты Cu(Ta), полученные при температуре подложки 100 °С, имеют текстуру типа <111> перпендикулярно их поверхности. Степень и характер текстурированности зеренной структуры медной матрицы зависят от концентрации тантала, температуры подложки и сохраняются при последующем отжиге. Изученные закономерности объясняются формированием атомами тантала сегрегаций на границах зерен медной матрицы в процессе конденсации двухкомпонентного пара.

Список литературы

English version of article