Понижение степени межфазного перемешивания в многослойных рентгеновских зеркалах Sс/Si

Автор(ы) Ю.П. Першин1 , А.Ю. Девизенко1 , В.В. Кондратенко1 , D.L. Voronov2 , E.M. Gullikson2
Принадлежность

1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичева, 2, 61002 Харьков, Украина

2 Advanced Light Source, Berkeley National Laboratory, 1, Cyclotron Road, MS 15R0217, Berkeley, CA 94720

Е-mail persh@kpi.kharkov.ua
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 2
Даты Получено 05.12.2016, в отредактированной форме – 26.04.2017, опубликовано online – 28.04.2017
Ссылка Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Кондратенко, и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 № 2, 02029 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(2).02029
PACS Number(s) 61.05.cm, 61.43.Dq, 68.65.Ac, 41.50. + h, 07.85.Fv
Ключевые слова Многослойное рентгеновское зеркало, Перемешанные зоны, Уменьшение перемешивания, Давление аргона, Рост отражательной способности.
Аннотация Методами рентгеновской дифракции как в жесткой (  0,154 нм), так и в мягкой (  11,7-50,0 нм) рентгеновской области исследовано влияние изменения давления аргона на степень межфазного перемешивания в многослойных рентгеновских зеркалах (МРЗ) Sc/Si при изготовлении. Выявлено значительное снижение активности образования перемешанных силицидных зон с ростом давления аргона от 1,6 до 2,4 мТорр на обеих межфазных границах, что приводит к уменьшению толщины зон, по меньшей мере, в 3 раза. Установлено, что у всех исследуемых зеркал состав зон не меняется и соответствует моносилициду (ScSi). Уменьшение толщины зон приводит к росту отражательной способности МРЗ Sc/Si на длине волны 46,9 нм, по меньшей мере, на 20 %.

Список литературы

English version of article