Кинетические свойства пленочных систем на основе Ni и V или Ni и Ag(Au)

Автор(ы) Т.М. Гричановская , Т.С. Холод , Л.А. Цыганкова , Н.И. Шумакова , И.В. Чешко
Принадлежность

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

Е-mail
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 4
Даты Получено 01.11.2015; в отредактированной форме – 21.11.2015; опубликовано online 24.12.2015
Ссылка Т.М. Гричановская, Т.С. Холод, Л.А. Цыганкова, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 4, 04100 (2015)
DOI
PACS Number(s) 68.60.Dv, 73.50. – h.
Ключевые слова Трехслойные пленочные системы, Фазовый состав, Удельное сопротивление, Температурный коэффициент сопротивления.
Аннотация Представлены результаты исследований кинетических свойств (удельное сопротивление и температурный коэффициент сопротивления) трехслойных пленочных систем на основе Ni и V и Ni и Ag или Au общей толщиной d = 25-55 нм. Сравнение экспериментальных и расчетных величин ТКС указывают на то, что в отожженных трехслойных пленках на основе Ni и Ag сохраняется индивидуальность отдельных слоев, в то время как в пленках на основе Ni и Au, скорее всего, происходит образование твердых растворов; в пленках на основе Ni и V частично сохраняется индивидуальность отдельных слоев со стабилизацией твердых растворов возле интерфейсов.

Список литературы

English version of article