Влияние лазерного отжига на морфологию поверхности и оптические характеристики нанокремниевых пленок

Автор(ы) Т.В. Родионова , А.С. Сутягина, А.Г. Гуменюк, Л.И. Робур
Принадлежность

Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, ул. Владимирская, 64/13, 01601 Киев, Украина

Е-mail rodtv@univ.kiev.ua, nastyasutyagina@gmail.com, robur@univ.kiev.ua
Выпуск Том 7, Год 2015, Номер 1
Даты Получено 10.12.2014, опубликовано online – 25.03.2015
Ссылка Т.В. Родионова, А.С. Сутягина, А.Г. Гуменюк, Л.И. Робур, Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01033 (2015)
DOI
PACS Number(s) 68.55. – a, 68.60.Wm
Ключевые слова Нанокристаллические пленки кремния, Поверхностные неоднородности, Рост зерен, Лазерный отжиг, Оптические свойства.
Аннотация Исследовано влияние лазерного отжига на микрорельеф поверхности и оптические свойства нанокристаллических пленок кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы в реакторе пониженного давления. Показано, что при взаимодействии с лазерным излучением в пленках происходит рекристаллизация, вследствие которой имеет место сглаживание поверхностных неоднородностей и образование зерен-агломератов. Такие структурные изменения приводят к уменьшению содержания оксида кремния в пленках за счет уменьшения площади границ зерен. В спектре поглощения пленок наблюдается дополнительный максимум при 480 нм.

Список литературы