Перемішування на границях шарів багатошарових наноперіодних покриттів системи TiNх/ZrNх: моделювання та експеримент

Автор(и) О.В. Соболь1 , А.О. Мейлехов1 , Р.П. Мигущенко1 , Г.О. Постельник1 , Ю.Є. Сагаїдашніков1, В.А. Столбовий2
Приналежність

1 Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Kирпичова, 2, 61002 Харків, Україна

2 Національний науковий центр Харківський фізико-технічний інститут, вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 6
Дати Одержано 25.07.2017, опубліковано online - 24.11.2017
Посилання О.В. Соболь, А.О. Мейлехов, Р.П. Мигущенко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 6, 06021 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(6).06021
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключові слова Вакуумна дуга (2) , TiNх/ZrNх, Період (10) , Потенціал зміщення (3) , Фазовий склад (22) , Структура (91) , Напружено-деформований стан (2) , Твердий розчин (11) , Комп'ютерне моделювання (3) , Твердість (28) .
Анотація Встановлено, що критична товщина радіаційно-стимульованого дефектоутворення істотно впливає на напружено-деформований стан і твердість покриттів з малим Λ ≈ 10 нм. При цьому відбувається релаксація напружено-деформованого стану стиснення і зменшується твердість. Однак утворення твердого розчину при збереженні частини шару нітриду титану при Λ  10 нм, який не прореагував, дозволяє отримати надвисоку (44,8 ГПа) твердість покриття.

Перелік посилань