Закономірності формування нітридних покриттів на основі багатокомпонентних сплавів

Автор(и) В.М. Береснев1 , Ю.М. Шабельник2, Н.І. Шумакова2 , У.С. Нємченко1 , С.А. Клименко3, А.С. Манохін3
Приналежність

1 Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, майдан Свободи, 4, 61022 Харків, Україна

2 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

3 Інститут надтвердих матеріалів імені В.М. Бакуля НАН України, вул. Автозаводська 2, 04074 Київ, Україна

Е-mail
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 4
Дати Одержано 21.02.2017, у відредагованій формі - 25.07.2017, опубліковано online - 27.07.2017
Посилання В.М. Береснев, Ю.М. Шабельник, Н.І. Шумакова, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 4, 04023 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(4).04023
PACS Number(s) 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g
Ключові слова Нітридні покриття (4) , Багатокомпонентні сплави, Тиск (13) , Вміст азоту (3) , Структура (91) , Твердість (28) .
Анотація Визначено фізичні фактори, що впливають на структурний стан і фазовий склад нітридних покриттів на основі багатокомпонентних сплавів, отриманих методом вакуумно-дугового осадження. Показано, що підвищення парціального тиску азоту забезпечує формування однофазного твердого розчину з ГЦК кристалічною граткою. За умов тиску азотного середовища нижче 10 – 3 Па формується однофазний твердий розчин з ОЦК граткою, а в межах тиску азоту PN = 10 – 3 - 8 × 10 – 2 Па спостерігається двофазна система твердих розчинів з ОЦК і ГЦК гратами. При потенціалі зміщення – 70 В спостерігається текстура [100]; в межах змінювання потенціалу зміщення (– 70 В- – 90 В), з'являється текстура [100] + [111]. В діапазоні Ub від – 120 В до – 150 В – спостерігається текстура [111] і, з підвищенням потенціалу зміщення, спостерігається текстура [111] + [110].

Перелік посилань