Вплив параметрів магнетронного розпилення на структуру і субструктурні характеристики плівок дибориду танталу

Автор(и) О.А. Гончаров, А.М. Юнда, І.В. Шелест, В.В. Буранич
Приналежність

Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

Е-mail o.goncharov@mss.sumdu.edu.ua
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 4
Дати Одержано 25.04.2017, у відредагованій формі - 25.07.2017, опубліковано online - 27.07.2017
Посилання О.А. Гончаров, А.М. Юнда, І.В. Шелест, В.В. Буранич, Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 4, 04014 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(4).04014
PACS Number(s) 68.35. – p, 68.55.A –, 68.60.Bs, 81.07.Bc, 81.15.Cd
Ключові слова Магнетронне розпилення (6) , Диборид танталу, Потенціал зміщення (2) , Структура (83) , Нанотвердість (4) , Модуль пружності (10) .
Анотація У роботі проводились дослідження впливу параметрів магнетронного (ВЧ та ПС) розпилення на формування структури і субструктурних характеристик захисних покриттів на основі тонких плівок дибориду танталу. Результати проведених досліджень показали, що знак і величина прикладеного потенціалу зміщення при використанні обох типів магнетронного розпилення (ВЧ та ПС) має визначальний вплив на формування структури, складу і фізико-механічних властивостей плівок дибориду танталу. Встановлено, що нанокристалічні плівки дибориду танталу надстехіометричного складу (СВ/СТа ≈ 2,2-2,6), які мають сильну текстуру росту площиною (00.1) були отримані при потенціалах зміщення + 50 В та – 50 В при ВЧ- та ПС-магнетронному розпиленнях відповідно. При цьому отримані плівки мали найкращі фізико-механічні властивості і загальні характерні субструктурні величини: розмір нанокристалітів ~ 30 нм, і збільшене значення параметра «с» у порівнянні з табличним.

Перелік посилань