Зміна провідності кремнієвих структур в атмосфері оксиду азоту: квантовохімічне моделювання

Автор(и) Ф.О. Птащенко
Приналежність

Національний університет «Одеська морська академія», вул. Дідріхсона, 8, 65029 Одеса, Україна

Е-mail fed.ptas@gmail.com
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 4
Дати Одержано 03.04.2017, опубліковано online - 27.07.2017
Посилання Ф.О. Птащенко, Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 4, 04010 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(4).04010
PACS Number(s) 68.43.Bc, 82.65._r
Ключові слова Квантово-хімічні розрахунки (4) , Адсорбція (7) , NO2 (4) , Поруватий кремній (8) , Поверхневе легування (2) .
Анотація В даній роботі систематично надані експериментальні дані і критично розглянуті теоретичні моделі зміни провідності кремнієвих структур при адсорбції молекул NO2. Проведені квантовохімічні розрахунки показали, що адсорбція молекул оксиду азоту на гідрогенізованій поверхні кремнію може приводити лише до ефективного руйнування димерів N2O4. Оборотне зростання концентрації вільних дірок можна пояснити адсорбцією молекул NO2 на поверхневих гідроксильних групах.

Перелік посилань

Переклад англійською