Закономерности формирования нитридных покрытий на основе многокомпонентных сплавов

Автор(ы) В.М. Береснев1 , Ю.М. Шабельник2, Н.И. Шумакова2, У.С. Немченко1 , С.А. Клименко3, А.С. Манохин3
Принадлежность

1 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина, пл. Свободы, 4, 61022, Харьков, Украина

2 Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина

3 Институт сверхтвердых материалов имени В.Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская 2,  04074 Киев, Украина

Е-mail
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 4
Даты Получено 21.02.2017, в отредактированной форме – 25.07.2017, опубликовано online – 27.07.2017
Ссылка В.М. Береснев, Ю.М. Шабельник, и др., Ж. нано- электрон. физ. 9 №4, 04023 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(4).04023
PACS Number(s) 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g
Ключевые слова Нитридные покрытия, Многокомпонентные сплавы, Давление, Содержание азота, Структура (83) , Твердость.
Аннотация Определены физические факторы, влияющие на структурное состояние и фазовый состав нитридных покрытий на основе многокомпонентных сплавов, полученных методом вакуумно-дугового осаждения. Показано, что повышение парциального давления азота обеспечивает формирование однофазного твердого раствора с ГЦК кристаллической решеткой. При давлении азотной среды ниже 10 – 3 Па формируется однофазный твердый раствор с ОЦК решеткой, а в пределах давления азота PN = 10 – 3 - 8 × 10 – 2 Па наблюдается двухфазная система твердых растворов с ОЦК и ГЦК решеткой. При потенциале смещения – 70 В наблюдается текстура [100]; в пределах изменения потенциала смещения (– 70 В - – 90 В), появляется текстура [100]+[111]. В диапазоне Ub от – 120 В до – 150 В – наблюдается текстура [111] и, с повышением потенциала смещения, наблюдается текстура [111] + [110].

Список литературы