Изменение проводимости кремниевых структур в атмосфере оксида азота: квантовохимическое моделирование

Автор(ы) Ф.А. Птащенко
Принадлежность

Национальный университет «Одесская морская академия», ул. Дидрихсона, 8, 65029 Одесса, Украина

Е-mail fed.ptas@gmail.com
Выпуск Том 9, Год 2017, Номер 4
Даты Получено 03.04.2017, опубликовано online – 27.07.2017
Ссылка Ф.А. Птащенко, Ж. нано- электрон. физ. 9 № 4, 04010 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(4).04010
PACS Number(s) 68.43.Bc, 82.65._r
Ключевые слова Квантово-химические расчеты, Адсорбция, NO2 (4) , Пористый кремний, Поверхностное легирование.
Аннотация В данной работе систематически предоставлены экспериментальные данные и критически рассмотрены теоретические модели изменения проводимости кремниевых структур при адсорбции молекул NO2. Проведенные квантовохимические расчеты показали, что адсорбция молекул оксида азота на гидрированной поверхности кремния может приводить только к эффективному разрушению димеров N2O4. Обратимое повышение концентрации свободных дырок можно объяснить адсорбцией молекул NO2 на поверхностных гидроксильных группах.

Список литературы

Перевод на aнглийском