Вплив танталу на текстуру вакуумних конденсатів міді

Автори М.О. Глущенко, В.В. Білозеров, О.В. Соболь , В.В. Субботіна, Г.І. Зеленська, А.І. Зубков
Приналежність

Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 2, 61002 Харків, Україна

Е-mail maglushchenko@gmail.com
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 2
Дати Одержано 07.02.2017, у відредагованій формі - 25.04.2017, опубліковано online - 28.04.2017
Посилання М.О. Глущенко, В.В. Білозеров, Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 2, 02015 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(2).02015
PACS Number(s) 64.75.St, 68.37.Lp, 81.07.Bc, 81.15.Ef
Ключові слова Текстура (11) , Мідь (4) , Cu(Ta), Вакуумна конденсація, Структура (212) .
Анотація Вивчено структуру відокремлених від неоріентуючих підкладок вакуумних конденсатів Cu(Ta) товщиною до 50 мкм. Виявлено, що конденсати Cu(Ta), які отримані при температурі підкладки 100 °С, мають текстуру типу <111> перпендикулярно їх поверхні. Ступінь і характер текстурованності зереної структури мідної матриці, що залежать від концентрації танталу і температури підкладки, зберігається при подальшому відпалі. Вивчені закономірності пояснюються формуванням атомами танталу сегрегацій на межах зерен мідної матриці в процесі конденсації двокомпонентної пари.

Перелік посилань

English version of article