Назва |
Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок |
Автори |
А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, Т.В. Томіла |
Випуск |
Том 6, Рік 2014, Номер 4 |
Сторінки |
04047-1 - 04047-5 |
Назва |
Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок |
Автори |
А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, В.Я. Малахов, Т.В. Томіла |
Випуск |
Том 7, Рік 2015, Номер 3 |
Сторінки |
03040-1 - 03040-6 |
Назва |
Фотолюмінісцентні властивості PECVD плівок на основі Si, C, N |
Автори |
О.К. Порада, В.С. Манжара, А.О. Козак, В.І. Іващенко, Л.A. Іващенко |
Випуск |
Том 9, Рік 2017, Номер 2 |
Сторінки |
02022-1 - 02022-6 |