Results (2):

Назва Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок
Автори А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, Т.В. Томіла
Випуск Том 6, Рік 2014, Номер 4
Сторінки 04047-1 - 04047-5
Назва Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок
Автори А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, В.Я. Малахов, Т.В. Томіла
Випуск Том 7, Рік 2015, Номер 3
Сторінки 03040-1 - 03040-6