Назва | Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок | |
Автори | А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, Т.В. Томіла | |
Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 4 | |
Сторінки | 04047-1 - 04047-5 |
Назва | Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок | |
Автори | А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, В.Я. Малахов, Т.В. Томіла | |
Випуск | Том 7, Рік 2015, Номер 3 | |
Сторінки | 03040-1 - 03040-6 |